SiH4
Silane
- Numéro CAS 7803-62-5
- UN2203 (gaz)
En phase solide (gris), liquide (bleu) et vapeur (blanc) et le long des courbes d'équilibre
Point critique
Point triple
Calculez le volume ou la masse d'une quantité de gaz ou de liquide
Au point d'ébullition à 1,013 bar
dans les conditions standards (1,013 bar, 15°C)
Des exemples d'utilisations de la molécule dans l'industrie et la santé
Le silane est un gaz actif utilisé pour le dépôt de couches de silicium sur le verre plat et le verre creux.
Verre
Dans la fabrication des semi-conducteurs, le silane est utilisé comme source de silicium pour le dépôt du silicium polycristallin pour les interconnections ou le masquage, la croissance de silicium épitaxié et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de dioxyde de silicium, de nitrure de silicium, de carbure de silicium et de siliciures métalliques réfractaires. Dans la fabrication des écrans, il est utlisé pour former du nitrure de silicium, de l'oxyde de silicium et du silicium amorphe par dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Dans les secteurs des semi-conducteurs et du photovoltaïque, le silane est employé comme agent intermédiaire dans certains procédés de fabrication brevetés pour la purification du silicium utilisé dans la fabrication de lingots. Le silane est utilisé dans la fabrication de matériel à base de silicium amorphe destiné aux tambours photosensibles de photocopieurs et aux cellules solaires. Il est employé pour créer un revêtement antireflet à base de nitrure de silicium cristallin, ainsi que pour la production de couches minces de silicium microcristallin et amorphe, dopé ou non.
Semi-conducteursInformations nécessaires à l'utilisation de la molécule
Suffocante, étouffante
Air Liquide a rassemblé ces informations sur les compatibilités des molécules avec les matériaux pour vous assister dans l’évaluation des produits à utiliser pour leur mise en œuvre. Ces données ont été obtenues à partir de sources qu’Air Liquide considère comme fiables (Normes internationales: Compatibilité des matériaux des bouteilles et des robinets avec les contenus gazeux; ISO 11114-1 (March 2012), Part 2 - Non-metallic materials: ISO 11114-2 (April 2013). Toutefois les informations données ici doivent être utilisées avec beaucoup de précaution car elles ne couvrent pas toutes les conditions de concentration, de température, d’humidité, d’impuretés et de présence d’air. Cette table peut être par exemple utilisée pour présélectionner des matériaux pour des utilisations à haute pression et à température ambiante. Cependant, des études et des tests plus poussés doivent être réalisés dans les conditions précises d’utilisation. Prenez contact avec une équipe Air Liquide dans votre région si vous avez besoin d'une prestation d'expertise.
Informations générales
A température et pression ambiantes, le silane est un gaz incolore. C’est un gaz pyrophorique, c’est-à-dire capable de s’enflammer spontanément au contact de l’air. Au dessus de 420°C (788°F/693,15 K), le silane se décompose en silicium et en hydrogène. Dans l'industrie électronique, il est fréquemment utilisé comme gaz actif permettant le dépôt de silicium et pour la fabrication des panneaux solaires photovoltaïques.
