Silane
- SiH4
- Numéro CAS 7803-62-5
- UN2203 (gaz)
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Volumes Gaz / Liquide
Calculer le volume ou la masse d'une quantité de gaz ou de liquide
Phase Liquide
Au point d'ébullition à 1,013 bar
Phase Gazeuse
Dans les conditions standard (1,013 bar, 15°C)
Propriétés physiques
Diagramme de phase moléculaire montrant les phases de transition entre le solide, le liquide et le gaz en fonction de la température et de la pression
-
- Masse molaire 32.117 g/mol
- Teneur dans l'air sec /
-
Point critique
- Température -3.45 °C
- Pression 48,4 bar
- Masse volumique 242.03 kg/m³
-
Point triple
- Température -184.67 °C
- Pression 1,9644E-4 bar
Pression 1.013 bar
| Chaleur latente de fusion (au point de fusion) | 20,777 kJ/kg |
| Point de fusion | - 184,67 °C |
Pression 1.013 bar
| Point d'ébullition | - 112,15 °C |
| Chaleur latente de vaporisation (au point d'ébullition) | 377,21 kJ/kg |
| Masse volumique du liquide (au point d'ébullition) | 582,621 kg/m3 |
| Facteur de compressibilité Z | 9,99E-1 |
| Equivalent gaz/(liquide au point d'ébullition) | 403,76 vol/vol |
| Densité | 1,12 |
| Conductivité thermique | 20,345 mW/(m.K) |
| Viscosité | 1,0704E-4 Po |
| Facteur de compressibilité Z | 9,99E-1 |
| Equivalent gaz/(liquide au point d'ébullition) | 431,57 vol/vol |
| Densité | 1,12 |
| Conductivité thermique | 21,812 mW/(m.K) |
| Viscosité | 1,1241E-4 Po |
| Facteur de compressibilité Z | 9,99E-1 |
| Equivalent gaz/(liquide au point d'ébullition) | 431,57 vol/vol |
| Densité | 1,12 |
| Conductivité thermique | 22,803 mW/(m.K) |
| Viscosité | 1,1597E-4 Po |
Applications
Des exemples d'utilisations de la molécule dans l'industrie et la santé
Semi-conducteurs
Le silane est utilisé dans la fabrication des semi-conducteurs pour le dépôt du silicium polycristallin et silicium épitaxié ainsi que comme source de silicium pour dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de SIO2, Si3n4. Dans la fabrication des écrans, il est principalement utlisé pour former du Si3n4 et du silicium polycristallin par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD). Dans les secteurs des cellules photovoltaïques de silicium cristallin, le silane est utilisé pour le dépot d'une couche antireflet à base de nitrure de silicium cristallin. Le Silane est un intermédiaire pour la production de silicium de haute pureté employé dans les cellules photovoltaïques et les semi-conducteurs.
Verre
Le silane est un gaz actif utilisé pour le dépôt de couches de silicium sur le verre plat et le verre creux.
Sécurité & Compatibilité
GHS02
Inflammable
GHS04
Gaz sous pression
GHS07
Dangereux pour la santé
Point d'auto-inflammation, limites d'inflammabilité et point éclair
Europe (selon EN1839 pour les limites et EN14522 pour la température d'auto-inflammation )
| Température d'auto-inflammation (Chemsafe) | Autoignitable |
| Limite inférieure d’inflammabilité (IEC 80079-20-1) | 1,4 vol% |
US (selon ASTM E681 pour les limites et ASTM E659 pour la température d'auto-inflammation)
| Temperature d'auto-inflammation (NFPA 325) | Pyrophoric |
| Limite inférieure d’inflammabilité (NFPA 325) | 1,4 vol% |
| Limite supérieure d'inflammabilité (NFPA 325) | 96 (est.) |
Seuil de toxicité
| VLEP 8h France (à Patm et 293.15 K) | 7 mg/m3 ou 5 ppm |
Odeur
Suffocante, étouffante
Métaux
| Aluminium | Satisfaisant |
| Laiton | Satisfaisant |
| Alliage de Nickel | Pas de données |
| Cuivre | Pas de données |
| Aciers ferritiques | Satisfaisant |
| Aciers inoxydables |
Certains alliages sont sensibles à la fragilisation par l'hydrogène
Acceptable
|
| Zinc | Pas de données |
| Titane | Pas de données |
Plastiques
| Polytétrafluoroéthylène | Satisfaisant |
| Polychlorotrifluoroéthylène | Satisfaisant |
| Polyfluorure de vinylidène | Satisfaisant |
| Polychlorure de vinyle | Pas de données |
| Ethylène tétrafluoroéthylène | Pas de données |
| Polycarbonate | Pas de données |
| Polyamide | Pas de données |
| Polypropylène | Pas de données |
Elastomères
| Caoutchouc (isobutène- isoprène) butyl | Pas de données |
| Caoutchouc nitrile butadiène | Pas de données |
| Chloroprène | Pas de données |
| Chlorofluorocarbones | Pas de données |
| Silicone | Pas de données |
| Perfluoroélastomères | Pas de données |
| Fluoroélastomères | Pas de données |
| Néoprène | Pas de données |
| Polyuréthane | Satisfaisant |
| Ethylène-Propylène | Satisfaisant |
Lubrifiants
| Huile de lubrification à base d'hydrocarbures |
Contamination du matériau
Non recommandé
|
| Huile de lubrification à base de fluorocarbures |
Contamination du matériau
Non recommandé
|
Compatibilité avec les matériaux
Air Liquide a rassemblé ces informations sur les compatibilités des molécules avec les matériaux pour vous assister dans l’évaluation des produits à utiliser pour leur mise en œuvre. Ces données ont été obtenues à partir de sources qu’Air Liquide considère comme fiables (Normes internationales: Compatibilité des matériaux des bouteilles et des robinets avec les contenus gazeux; ISO 11114-1 (March 2012), Part 2 - Non-metallic materials: ISO 11114-2 (April 2013). Toutefois les informations données ici doivent être utilisées avec beaucoup de précaution car elles ne couvrent pas toutes les conditions de concentration, de température, d’humidité, d’impuretés et de présence d’air. Cette table peut être par exemple utilisée pour présélectionner des matériaux pour des utilisations à haute pression et à température ambiante. Cependant, des études et des tests plus poussés doivent être réalisés dans les conditions précises d’utilisation. Prenez contact avec une équipe Air Liquide dans votre région si vous avez besoin d'une prestation d'expertise.
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A température et pression ambiantes, le silane est un gaz incolore. C’est un gaz pyrophorique, c’est-à-dire capable de s’enflammer spontanément au contact de l’air. Au dessus de 420°C (788°F/693,15 K), le silane se décompose en silicium et en hydrogène. Dans l'industrie électronique, il est fréquemment utilisé comme gaz actif permettant le dépôt de silicium et pour la fabrication des panneaux solaires photovoltaïques.