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Silane
Cliquez et faites tourner la molécule 3D
Silane
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SiH4
Silane

Propriétés Physiques

En phase solide (gris), liquide (bleu) et vapeur (blanc) et le long des courbes d'équilibre

  • Propriétés générales
  • Phase solide
  • Phase Liquide
  • Phase Gazeuse
(P)
log(P)
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  • Masse molaire
    32,117
    g/mol
  • Teneur dans l'air sec
    /

Point critique

  • Température
    - 3,45
    °C
    25,79 °F 269,7 K
  • Pression
    48,4
    bar
    4,84E6 pa 701,9824 lbf/in2 47,7671 Atm 4840 Kpa 3,6303E4 mmHg
  • Masse volumique
    242,03
    kg/m³
    15,1094 lb/ft³

Point triple

  • Température
    - 184,67
    °C
    - 300,406 °F 88,48 K
  • Pression
    1,9644E-4
    bar
    19,6443 pa 2,8492E-3 lbf/in2 1,9387E-4 Atm 1,9644E-2 Kpa 1,4734E-1 mmHg
Pression 1,013 bar
  • Point de fusion
    - 184,67
    °C
    - 300,406 °F 88,48 K
  • Chaleur latente de fusion (au point de fusion)
    20,777
    kJ/kg
    8,9385 Btu/lb 4,9658 kcal/kg
  • Masse volumique de la phase solide
    /
Pression 1,013 bar
  • Masse volumique de la phase liquide (au point d'ébullition)
    582,621
    kg/m³
    36,3718 lb/ft³
  • Point d'ébullition
    - 112,15
    °C
    - 169,87 °F 161 K
  • Chaleur latente de vaporisation (au point d'ébullition)
    377,21
    kJ/kg
    162,2799 Btu/lb 90,1554 kcal/kg
Pression1,013barTempérature
  • Facteur de compressibilité Z
    /
    /
    /
  • Rapport γ=Cp/Cv
    /
    /
    /
  • Viscosité dynamique
    1,0704E-4
    Po
    10,7039 µPa.s 1,0704E-5 PA.S 7,1927E-6 lb/ft/s
    1,1241E-4
    Po
    11,2406 µPa.s 1,1241E-5 PA.S 7,5534E-6 lb/ft/s
    1,1597E-4
    Po
    11,5971 µPa.s 1,1597E-5 PA.S 7,7929E-6 lb/ft/s
  • Densité de la phase gaz au point d'ébullition
    /
    /
    /
  • Densité de la phase gaz
    1,443
    kg/m³
    9,0083E-2 lb/ft³
    1,443
    kg/m³
    9,0083E-2 lb/ft³
    1,443
    kg/m³
    9,0083E-2 lb/ft³
  • Chaleur spécifique à pression constante Cp
    /
    /
    /
  • Chaleur spécifique à volume constant Cv
    /
    /
    /
  • Equivalent gaz/liquide (au point d'ébullition)
    403,76
    mol/mol
    431,57
    mol/mol
    431,57
    mol/mol
  • Solubilité dans l'eau
    /
    /
    /
  • Densité
    1,12
    1,12
    1,12
  • Volume spécifique
    /
    /
    /
  • Conductivité thermique
    20,345
    mW/m∙K
    1,1763E-2 Btu/ft/h/°F 1,7505E-1 cal/hour∙cm∙°C 4,8626E-5 cal/s∙cm∙°C 2,0345E-2 W/(m∙K)
    21,812
    mW/m∙K
    1,2611E-2 Btu/ft/h/°F 1,8768E-1 cal/hour∙cm∙°C 5,2132E-5 cal/s∙cm∙°C 2,1812E-2 W/(m∙K)
    22,803
    mW/m∙K
    1,3184E-2 Btu/ft/h/°F 1,962E-1 cal/hour∙cm∙°C 5,45E-5 cal/s∙cm∙°C 2,2803E-2 W/(m∙K)
  • Pression de vapeur saturante
    /
    /
    /
SiH4
Silane

Volumes Gaz / Liquide

Calculez le volume ou la masse d'une quantité de gaz ou de liquide

Phase Liquide

Au point d'ébullition à 1,013 bar

m3(Volume)
kg(Masse)

Phase Gazeuse

à 1,013 bar et au point d'ébullition

m3(Volume)
kg(Masse)
SiH4
Silane

Applications

Des exemples d'utilisations de la molécule dans l'industrie et la santé

Verre

Le silane est un gaz actif utilisé pour le dépôt de couches de silicium sur le verre plat et le verre creux.

Verre

Semi-conducteurs

Dans la fabrication des semi-conducteurs, le silane est utilisé comme source de silicium pour le dépôt du silicium polycristallin pour les interconnections ou le masquage, la croissance de silicium épitaxié et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de dioxyde de silicium, de nitrure de silicium, de carbure de silicium et de siliciures métalliques réfractaires. Dans la fabrication des écrans, il est utlisé pour former du nitrure de silicium, de l'oxyde de silicium et du silicium amorphe par dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Dans les secteurs des semi-conducteurs et du photovoltaïque, le silane est employé comme agent intermédiaire dans certains procédés de fabrication brevetés pour la purification du silicium utilisé dans la fabrication de lingots. Le silane est utilisé dans la fabrication de matériel à base de silicium amorphe destiné aux tambours photosensibles de photocopieurs et aux cellules solaires. Il est employé pour créer un revêtement antireflet à base de nitrure de silicium cristallin, ainsi que pour la production de couches minces de silicium microcristallin et amorphe, dopé ou non.

Semi-conducteurs
SiH4
Silane

Sécurité & Compatibilité

Informations nécessaires à l'utilisation de la molécule

  • Risques majeurs
  • Compatibilité matériaux
  • GHS02
    Inflammable
  • GHS04
    Gaz sous pression
  • GHS07
    Dangereux pour la santé

Seuil de toxicité

  • VME
    5
    ppm
    ou 7
    mg/m3
  • VLE
    /
  • ILV-8h
    /
  • ILV 15mn
    /
  • TLV-TWA (USA)
    5
    ppm
    5 ppm 5,E-4 vol% 5,E-6 vol/vol
  • TLV-STEL (USA)
    /

Odeur

Suffocante, étouffante

Métaux

  • Aluminium
    Satisfaisant
  • Laiton
    Satisfaisant
  • Alliage de Nickel
    Satisfaisant
  • Cuivre
    Satisfaisant
  • Aciers ferritiques
    Satisfaisant
  • Aciers inoxydables
    Satisfaisant
  • Zinc
    Pas de données
  • Titane
    Pas de données

Plastiques

  • Polytétrafluoroéthylène
    Satisfaisant
  • Polychlorotrifluoroéthylène
    Satisfaisant
  • Polyvinylidène fluoride
    Satisfaisant
  • Polyvinyl chloride
    Pas de données
  • Ethylène tétrafluoroéthylène
    Satisfaisant
  • Polycarbonate
    Pas de données
  • Polyamide
    Pas de données
  • Polypropylène
    Pas de données

Elastomères

  • Buthyl (isobutène- isoprène) rubber
    Pas de données
  • Nitrile rubber NBR
    Pas de données
  • Chloroprène
    Pas de données
  • Silicone
    Pas de données
  • Perfluoroélastomères
    Satisfaisant
  • Fluoroélastomères
    Pas de données
  • Néoprène
    Satisfaisant
  • Polyuréthane
    Satisfaisant
  • Ethylène-Propylène
    Satisfaisant

Lubrifiants

  • Huile de lubrification à base d'hydrocarbures
    Non recommandé
    contamination du matériau
  • Huile de lubrification à base de fluorocarbures
    Non recommandé
    contamination du matériau

Compatibilité avec les matériaux

Air Liquide a rassemblé ces informations sur les compatibilités des molécules avec les matériaux pour vous assister dans l’évaluation des produits à utiliser pour leur mise en œuvre. Ces données ont été obtenues à partir de sources qu’Air Liquide considère comme fiables (Normes internationales: Compatibilité des matériaux des bouteilles et des robinets avec les contenus gazeux;  ISO 11114-1 (March 2012), Part 2 - Non-metallic materials: ISO 11114-2 (April 2013). Toutefois les informations données ici doivent être utilisées avec beaucoup de précaution car elles ne couvrent pas toutes les conditions de concentration, de température, d’humidité, d’impuretés et de présence d’air.  Cette table peut être par exemple utilisée pour présélectionner des matériaux pour des utilisations à haute pression et à température ambiante. Cependant, des études et des tests plus poussés doivent être réalisés dans les conditions précises d’utilisation. Prenez contact avec une équipe Air Liquide dans votre région si vous avez besoin d'une prestation d'expertise.

SiH4
Silane

En savoir plus

Informations générales

En savoir plus

A température et pression ambiantes, le silane est un gaz incolore. C’est un gaz pyrophorique, c’est-à-dire capable de s’enflammer spontanément au contact de l’air. Au dessus de 420°C (788°F/693,15 K), le silane se décompose en silicium et en hydrogène. Dans l'industrie électronique, il est fréquemment utilisé comme gaz actif permettant le dépôt de silicium et pour la fabrication des panneaux solaires photovoltaïques.