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      Silane
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      Silane
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      SiH4
      Silane

      Propriétés Physiques

      En phase solide (gris), liquide (bleu) et vapeur (blanc) et le long des courbes d'équilibre

      • Propriétés générales
      • Phase solide
      • Phase Liquide
      • Phase Gazeuse
      (P)
      log(P)
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      • Masse molaire
        32,117
        g/mol
      • Teneur dans l'air sec
        /

      Point critique

      • Température
        - 3,45
        °C
         25,79 °F 269,7 K
      • Pression
        48,4
        bar
         4,84E6 pa 701,9824 lbf/in2 47,7671 Atm 4840 Kpa 3,6303E4 mmHg
      • Masse volumique
        242,03
        kg/m³
         15,1094 lb/ft³

      Point triple

      • Température
        - 184,67
        °C
         - 300,406 °F 88,48 K
      • Pression
        1,9644E-4
        bar
         19,6443 pa 2,8492E-3 lbf/in2 1,9387E-4 Atm 1,9644E-2 Kpa 1,4734E-1 mmHg
      Pression 1,013 bar
      • Point de fusion
        - 184,67
        °C
         - 300,406 °F 88,48 K
      • Chaleur latente de fusion (au point de fusion)
        20,777
        kJ/kg
         8,9385 Btu/lb 4,9658 kcal/kg
      • Masse volumique de la phase solide
        /
      Pression 1,013 bar
      • Masse volumique de la phase liquide (au point d'ébullition)
        582,621
        kg/m³
         36,3718 lb/ft³
      • Point d'ébullition
        - 112,15
        °C
         - 169,87 °F 161 K
      • Chaleur latente de vaporisation (au point d'ébullition)
        377,21
        kJ/kg
         162,2799 Btu/lb 90,1554 kcal/kg
      Pression1,013barTempérature
      • Facteur de compressibilité Z
        /
        /
        /
      • Rapport γ=Cp/Cv
        /
        /
        /
      • Viscosité dynamique
        1,0704E-4
        Po
         10,7039 µPa.s 1,0704E-5 PA.S 7,1927E-6 lb/ft/s
        1,1241E-4
        Po
         11,2406 µPa.s 1,1241E-5 PA.S 7,5534E-6 lb/ft/s
        1,1597E-4
        Po
         11,5971 µPa.s 1,1597E-5 PA.S 7,7929E-6 lb/ft/s
      • Densité de la phase gaz au point d'ébullition
        /
        /
        /
      • Densité de la phase gaz
        1,443
        kg/m³
         9,0083E-2 lb/ft³
        1,443
        kg/m³
         9,0083E-2 lb/ft³
        1,443
        kg/m³
         9,0083E-2 lb/ft³
      • Chaleur spécifique à pression constante Cp
        /
        /
        /
      • Chaleur spécifique à volume constant Cv
        /
        /
        /
      • Equivalent gaz/liquide (au point d'ébullition)
        403,76
        mol/mol
        431,57
        mol/mol
        431,57
        mol/mol
      • Solubilité dans l'eau
        /
        /
        /
      • Densité
        1,12
        1,12
        1,12
      • Volume spécifique
        /
        /
        /
      • Conductivité thermique
        20,345
        mW/m∙K
         1,1763E-2 Btu/ft/h/°F 1,7505E-1 cal/hour∙cm∙°C 4,8626E-5 cal/s∙cm∙°C 2,0345E-2 W/(m∙K)
        21,812
        mW/m∙K
         1,2611E-2 Btu/ft/h/°F 1,8768E-1 cal/hour∙cm∙°C 5,2132E-5 cal/s∙cm∙°C 2,1812E-2 W/(m∙K)
        22,803
        mW/m∙K
         1,3184E-2 Btu/ft/h/°F 1,962E-1 cal/hour∙cm∙°C 5,45E-5 cal/s∙cm∙°C 2,2803E-2 W/(m∙K)
      • Pression de vapeur saturante
        /
        /
        /
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      SiH4
      Silane

      Volumes Gaz / Liquide

      Calculez le volume ou la masse d'une quantité de gaz ou de liquide

      Phase Liquide

      Au point d'ébullition à 1,013 bar

      m3(Volume)
      kg(Masse)

      Phase Gazeuse

      à 1,013 bar et au point d'ébullition

      m3(Volume)
      kg(Masse)
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      SiH4
      Silane

      Applications

      Des exemples d'utilisations de la molécule dans l'industrie et la santé

      Verre

      Le silane est un gaz actif utilisé pour le dépôt de couches de silicium sur le verre plat et le verre creux.

      Verre

      Semi-conducteurs

      Dans la fabrication des semi-conducteurs, le silane est utilisé comme source de silicium pour le dépôt du silicium polycristallin pour les interconnections ou le masquage, la croissance de silicium épitaxié et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de dioxyde de silicium, de nitrure de silicium, de carbure de silicium et de siliciures métalliques réfractaires. Dans la fabrication des écrans, il est utlisé pour former du nitrure de silicium, de l'oxyde de silicium et du silicium amorphe par dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Dans les secteurs des semi-conducteurs et du photovoltaïque, le silane est employé comme agent intermédiaire dans certains procédés de fabrication brevetés pour la purification du silicium utilisé dans la fabrication de lingots. Le silane est utilisé dans la fabrication de matériel à base de silicium amorphe destiné aux tambours photosensibles de photocopieurs et aux cellules solaires. Il est employé pour créer un revêtement antireflet à base de nitrure de silicium cristallin, ainsi que pour la production de couches minces de silicium microcristallin et amorphe, dopé ou non.

      Semi-conducteurs
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      SiH4
      Silane

      Sécurité & Compatibilité

      Informations nécessaires à l'utilisation de la molécule

      • Risques majeurs
      • Compatibilité matériaux
      Sécurité
      • GHS02
        Inflammable
      • GHS04
        Gaz sous pression
      • GHS07
        Dangereux pour la santé

      Seuil de toxicité

      • VME
        5
        ppm
         ou 7
        mg/m3
      • VLE
        /
      • ILV-8h
        /
      • ILV 15mn
        /
      • TLV-TWA (USA)
        5
        ppm
         5 ppm 5,E-4 vol% 5,E-6 vol/vol
      • TLV-STEL (USA)
        /

      Odeur

      Suffocante, étouffante

      Métaux

      • Aluminium
        Satisfaisant
      • Laiton
        Satisfaisant
      • Alliage de Nickel
        Satisfaisant
      • Cuivre
        Satisfaisant
      • Aciers ferritiques
        Satisfaisant
      • Aciers inoxydables
        Satisfaisant
      • Zinc
        Pas de données
      • Titane
        Pas de données

      Plastiques

      • Polytétrafluoroéthylène
        Satisfaisant
      • Polychlorotrifluoroéthylène
        Satisfaisant
      • Polyvinylidène fluoride
        Satisfaisant
      • Polyvinyl chloride
        Pas de données
      • Ethylène tétrafluoroéthylène
        Satisfaisant
      • Polycarbonate
        Pas de données
      • Polyamide
        Pas de données
      • Polypropylène
        Pas de données

      Elastomères

      • Buthyl (isobutène- isoprène) rubber
        Pas de données
      • Nitrile rubber NBR
        Pas de données
      • Chloroprène
        Pas de données
      • Silicone
        Pas de données
      • Perfluoroélastomères
        Satisfaisant
      • Fluoroélastomères
        Pas de données
      • Néoprène
        Satisfaisant
      • Polyuréthane
        Satisfaisant
      • Ethylène-Propylène
        Satisfaisant

      Lubrifiants

      • Huile de lubrification à base d'hydrocarbures
        Non recommandé
        contamination du matériau
      • Huile de lubrification à base de fluorocarbures
        Non recommandé
        contamination du matériau

      Compatibilité avec les matériaux

      Air Liquide a rassemblé ces informations sur les compatibilités des molécules avec les matériaux pour vous assister dans l’évaluation des produits à utiliser pour leur mise en œuvre. Ces données ont été obtenues à partir de sources qu’Air Liquide considère comme fiables (Normes internationales: Compatibilité des matériaux des bouteilles et des robinets avec les contenus gazeux;  ISO 11114-1 (March 2012), Part 2 - Non-metallic materials: ISO 11114-2 (April 2013). Toutefois les informations données ici doivent être utilisées avec beaucoup de précaution car elles ne couvrent pas toutes les conditions de concentration, de température, d’humidité, d’impuretés et de présence d’air.  Cette table peut être par exemple utilisée pour présélectionner des matériaux pour des utilisations à haute pression et à température ambiante. Cependant, des études et des tests plus poussés doivent être réalisés dans les conditions précises d’utilisation. Prenez contact avec une équipe Air Liquide dans votre région si vous avez besoin d'une prestation d'expertise.

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      SiH4
      Silane

      En savoir plus

      Informations générales

      En savoir plus

      A température et pression ambiantes, le silane est un gaz incolore. C’est un gaz pyrophorique, c’est-à-dire capable de s’enflammer spontanément au contact de l’air. Au dessus de 420°C (788°F/693,15 K), le silane se décompose en silicium et en hydrogène. Dans l'industrie électronique, il est fréquemment utilisé comme gaz actif permettant le dépôt de silicium et pour la fabrication des panneaux solaires photovoltaïques.

      SiH4

      Silane