Silane

SiH₄
Numéro CAS 7803-62-5
UN2203 (gaz)

Molécule
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Volumes Gaz / Liquide

Calculer le volume ou la masse d'une quantité de gaz ou de liquide

Phase Liquide

Au point d'ébullition à 1,013 bar

m³ (Volume)

kg (masse)

Phase Gazeuse

Dans les conditions standard (1,013 bar, 15°C)

m³ (Volume)

kg (masse)

Propriétés physiques

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Propriétés Générales
Phase Solide
Phase Liquide
Phase Gazeuse

Diagramme de phase moléculaire montrant les phases de transition entre le solide, le liquide et le gaz en fonction de la température et de la pression

Pression (bar)

- Masse molaire 32.117 g/mol
- Teneur dans l'air sec /
Point critique
- Température -3.45 °C
- Pression 48,4 bar
- Masse volumique 242.03 kg/m³
Point triple
- Température -184.67 °C
- Pression 1,9644E-4 bar

Pression 1.013 bar

Chaleur latente de fusion (au point de fusion)	20,777 kJ/kg
Point de fusion	- 184,67 °C

Pression 1.013 bar

Point d'ébullition	- 112,15 °C
Chaleur latente de vaporisation (au point d'ébullition)	377,21 kJ/kg
Masse volumique du liquide (au point d'ébullition)	582,621 kg/m³

Pression 1.013 bar

0 °C
15 °C
25 °C

Facteur de compressibilité Z	9,99E-1
Equivalent gaz/(liquide au point d'ébullition)	403,76 vol/vol
Densité	1,12
Conductivité thermique	20,345 mW/(m.K)
Viscosité	1,0704E-4 Po

Facteur de compressibilité Z	9,99E-1
Equivalent gaz/(liquide au point d'ébullition)	431,57 vol/vol
Densité	1,12
Conductivité thermique	21,812 mW/(m.K)
Viscosité	1,1241E-4 Po

Facteur de compressibilité Z	9,99E-1
Equivalent gaz/(liquide au point d'ébullition)	431,57 vol/vol
Densité	1,12
Conductivité thermique	22,803 mW/(m.K)
Viscosité	1,1597E-4 Po

Candidatures

Des exemples d'utilisations de la molécule dans l'industrie et la santé

Semi-conducteurs

Le silane est utilisé dans la fabrication des semi-conducteurs pour le dépôt du silicium polycristallin et silicium épitaxié ainsi que comme source de silicium pour dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de SIO2, Si3n4. Dans la fabrication des écrans, il est principalement utlisé pour former du Si3n4 et du silicium polycristallin par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD). Dans les secteurs des cellules photovoltaïques de silicium cristallin, le silane est utilisé pour le dépot d'une couche antireflet à base de nitrure de silicium cristallin. Le Silane est un intermédiaire pour la production de silicium de haute pureté employé dans les cellules photovoltaïques et les semi-conducteurs.

Verre

Le silane est un gaz actif utilisé pour le dépôt de couches de silicium sur le verre plat et le verre creux.

Sécurité & Compatibilité

Risques majeurs
Compatibilité

GHS02

Inflammable

GHS04

Gaz sous pression

GHS07

Dangereux pour la santé

Point d'auto-inflammation, limites d'inflammabilité et point éclair

Europe (selon EN1839 pour les limites et EN14522 pour la température d'auto-inflammation )

Température d'auto-inflammation (Chemsafe)	Autoignitable
Limite inférieure d’inflammabilité (IEC 80079-20-1)	1,4 vol%

US (selon ASTM E681 pour les limites et ASTM E659 pour la température d'auto-inflammation)

Temperature d'auto-inflammation (NFPA 325)	Pyrophoric
Limite inférieure d’inflammabilité (NFPA 325)	1,4 vol%
Limite supérieure d'inflammabilité (NFPA 325)	96 (est.)

Seuil de toxicité

VLEP 8h France (à Patm et 293.15 K)

7 mg/m³ ou 5 ppm

Odeur

Suffocante, étouffante

Métaux

Aluminium	Satisfaisant
Laiton	Satisfaisant
Alliage de Nickel	Pas de données
Cuivre	Pas de données
Aciers ferritiques	Satisfaisant
Aciers inoxydables	Certains alliages sont sensibles à la fragilisation par l'hydrogène Acceptable
Zinc	Pas de données
Titane	Pas de données

Plastiques

Polytétrafluoroéthylène	Satisfaisant
Polychlorotrifluoroéthylène	Satisfaisant
Polyfluorure de vinylidène	Satisfaisant
Polychlorure de vinyle	Pas de données
Ethylène tétrafluoroéthylène	Pas de données
Polycarbonate	Pas de données
Polyamide	Pas de données
Polypropylène	Pas de données

Elastomères

Caoutchouc (isobutène- isoprène) butyl	Pas de données
Caoutchouc nitrile butadiène	Pas de données
Chloroprène	Pas de données
Chlorofluorocarbones	Pas de données
Silicone	Pas de données
Perfluoroélastomères	Pas de données
Fluoroélastomères	Pas de données
Néoprène	Pas de données
Polyuréthane	Satisfaisant
Ethylène-Propylène	Satisfaisant

Lubrifiants

Huile de lubrification à base d'hydrocarbures	Contamination du matériau Non recommandé
Huile de lubrification à base de fluorocarbures	Contamination du matériau Non recommandé

Compatibilité avec les matériaux

Air Liquide a rassemblé ces informations sur les compatibilités des molécules avec les matériaux pour vous assister dans l’évaluation des produits à utiliser pour leur mise en œuvre. Ces données ont été obtenues à partir de sources qu’Air Liquide considère comme fiables (Normes internationales: Compatibilité des matériaux des bouteilles et des robinets avec les contenus gazeux; ISO 11114-1 (March 2012), Part 2 - Non-metallic materials: ISO 11114-2 (April 2013). Toutefois les informations données ici doivent être utilisées avec beaucoup de précaution car elles ne couvrent pas toutes les conditions de concentration, de température, d’humidité, d’impuretés et de présence d’air. Cette table peut être par exemple utilisée pour présélectionner des matériaux pour des utilisations à haute pression et à température ambiante. Cependant, des études et des tests plus poussés doivent être réalisés dans les conditions précises d’utilisation. Prenez contact avec une équipe Air Liquide dans votre région si vous avez besoin d'une prestation d'expertise.

En savoir plus

A température et pression ambiantes, le silane est un gaz incolore. C’est un gaz pyrophorique, c’est-à-dire capable de s’enflammer spontanément au contact de l’air. Au dessus de 420°C (788°F/693,15 K), le silane se décompose en silicium et en hydrogène. Dans l'industrie électronique, il est fréquemment utilisé comme gaz actif permettant le dépôt de silicium et pour la fabrication des panneaux solaires photovoltaïques.