Skip to main content
Retour
Trifluorure d'azote
Cliquez et faites tourner la molécule 3D
Trifluorure d'azote
Cliquez et faites tourner la molécule 3D
NF3
Trifluorure d'azote

Propriétés Physiques

En phase solide (gris), liquide (bleu) et vapeur (blanc) et le long des courbes d'équilibre

  • Propriétés générales
  • Phase solide
  • Phase Liquide
  • Phase Gazeuse
(P)
log(P)
Télécharger
  • Masse molaire
    71,019
    g/mol
  • Teneur dans l'air sec
    /

Point critique

  • Température
    - 39,15
    °C
    - 38,47 °F 234 K
  • Pression
    44,607
    bar
    4,4607E6 pa 646,9696 lbf/in2 44,0237 Atm 4460,7 Kpa 3,3458E4 mmHg
  • Masse volumique
    597,91
    kg/m³
    37,3262 lb/ft³

Point triple

  • Température
    - 206,69
    °C
    - 340,042 °F 66,46 K
  • Pression
    1,854E-6
    bar
    1,854E-1 pa 2,689E-5 lbf/in2 1,8298E-6 Atm 1,854E-4 Kpa 1,3906E-3 mmHg
Pression 1,013 bar
  • Point de fusion
    - 206,69
    °C
    - 340,042 °F 66,46 K
  • Chaleur latente de fusion (au point de fusion)
    5,603
    kJ/kg
    2,4105 Btu/lb 1,3391 kcal/kg
  • Masse volumique de la phase solide
    /
Pression 1,013 bar
  • Masse volumique de la phase liquide (au point d'ébullition)
    1537,863
    kg/m³
    96,0054 lb/ft³
  • Point d'ébullition
    - 129,01
    °C
    - 200,218 °F 144,14 K
  • Chaleur latente de vaporisation (au point d'ébullition)
    162,708
    kJ/kg
    69,9988 Btu/lb 38,8881 kcal/kg
Pression1,013barTempérature
  • Facteur de compressibilité Z
    9,9515E-1
    9,9594E-1
    9,9639E-1
  • Rapport γ=Cp/Cv
    1,1996
    1,1921
    1,1876
  • Viscosité dynamique
    1,8123E-4
    Po
    18,123 µPa.s 1,8123E-5 PA.S 1,2178E-5 lb/ft/s
    1,902E-4
    Po
    19,02 µPa.s 1,902E-5 PA.S 1,2781E-5 lb/ft/s
    1,961E-4
    Po
    19,61 µPa.s 1,961E-5 PA.S 1,3177E-5 lb/ft/s
  • Densité de la phase gaz au point d'ébullition
    6,239
    kg/m³
    3,8949E-1 lb/ft³
    6,239
    kg/m³
    3,8949E-1 lb/ft³
    6,239
    kg/m³
    3,8949E-1 lb/ft³
  • Densité de la phase gaz
    3,184
    kg/m³
    1,9877E-1 lb/ft³
    3,0158
    kg/m³
    1,8827E-1 lb/ft³
    2,9134
    kg/m³
    1,8188E-1 lb/ft³
  • Chaleur spécifique à pression constante Cp
    7,1941E-1
    kJ/(kg.K)
    1,7194E-1 BTU/lb∙°F 719,41 J/kg∙K 1,7194E-1 kcal/kg∙K
    7,4054E-1
    kJ/(kg.K)
    1,7699E-1 BTU/lb∙°F 740,54 J/kg∙K 1,7699E-1 kcal/kg∙K
    7,5425E-1
    kJ/(kg.K)
    1,8027E-1 BTU/lb∙°F 754,25 J/kg∙K 1,8027E-1 kcal/kg∙K
  • Chaleur spécifique à volume constant Cv
    5,9972E-1
    kJ/(kg.K)
    1,4334E-1 BTU/lb∙°F 599,72 J/kg∙K 1,4334E-1 kcal/kg∙K
    6,2121E-1
    kJ/(kg.K)
    1,4847E-1 BTU/lb∙°F 621,21 J/kg∙K 1,4847E-1 kcal/kg∙K
    6,3511E-1
    kJ/(kg.K)
    1,518E-1 BTU/lb∙°F 635,11 J/kg∙K 1,518E-1 kcal/kg∙K
  • Equivalent gaz/liquide (au point d'ébullition)
    488,486
    mol/mol
    515,72
    mol/mol
    533,85
    mol/mol
  • Solubilité dans l'eau
    /
    /
    /
  • Densité
    2,46
    2,46
    2,46
  • Volume spécifique
    3,141E-1
    m³/kg
    5,0314 ft³/lb
    3,316E-1
    m³/kg
    5,3117 ft³/lb
    3,432E-1
    m³/kg
    5,4975 ft³/lb
  • Conductivité thermique
    16,023
    mW/m∙K
    9,2641E-3 Btu/ft/h/°F 1,3787E-1 cal/hour∙cm∙°C 3,8296E-5 cal/s∙cm∙°C 1,6023E-2 W/(m∙K)
    17,195
    mW/m∙K
    9,9417E-3 Btu/ft/h/°F 1,4795E-1 cal/hour∙cm∙°C 4,1097E-5 cal/s∙cm∙°C 1,7195E-2 W/(m∙K)
    17,979
    mW/m∙K
    1,0395E-2 Btu/ft/h/°F 1,547E-1 cal/hour∙cm∙°C 4,2971E-5 cal/s∙cm∙°C 1,7979E-2 W/(m∙K)
  • Pression de vapeur saturante
    /
    /
    /
NF3
Trifluorure d'azote

Volumes Gaz / Liquide

Calculez le volume ou la masse d'une quantité de gaz ou de liquide

Phase Liquide

Au point d'ébullition à 1,013 bar

m3(Volume)
kg(Masse)

Phase Gazeuse

à 1,013 bar et au point d'ébullition

m3(Volume)
kg(Masse)
NF3
Trifluorure d'azote

Applications

Des exemples d'utilisations de la molécule dans l'industrie et la santé

Composants électroniques

Dans la fabrication des cellules photovoltaïques à couches minces de silicium, des semi-conducteurs et des écrans, le trifluorure d'azote est utlisé comme source de fluor pour le nettoyage des réacteurs de dépôt chimique en phase vapeur. Il est également utilisé comme réactif sélectif pour la gravure de l'oxyde de silicium.

Composants électroniques
NF3
Trifluorure d'azote

Sécurité & Compatibilité

Informations nécessaires à l'utilisation de la molécule

  • Risques majeurs
  • Compatibilité matériaux
  • GHS03
    Comburant
  • GHS04
    Gaz sous pression
  • GHS07
    Dangereux pour la santé

Seuil de toxicité

  • VME
    10
    ppm
    ou 30
    mg/m3
  • VLE
    /
  • ILV-8h
    /
  • ILV 15mn
    /
  • TLV-TWA (USA)
    10
    ppm
    10 ppm 1,E-3 vol% 1,E-5 vol/vol
  • TLV-STEL (USA)
    /

Lethal concentration

  • CL50 (chez le rat. 4h)
    3350
    ppm
    3350 ppm 3,35E-1 vol% 3,35E-3 vol/vol

Odeur

Moisi

Métaux

  • Aluminium
    Satisfaisant
  • Laiton
    Satisfaisant
  • Alliage de Nickel
    Pas de données
  • Cuivre
    Pas de données
  • Aciers ferritiques
    Satisfaisant
  • Aciers inoxydables
    Satisfaisant
  • Zinc
    Pas de données
  • Titane
    Pas de données

Plastiques

  • Polytétrafluoroéthylène
    Satisfaisant
  • Polychlorotrifluoroéthylène
    Satisfaisant
  • Polyvinylidène fluoride
    Satisfaisant
  • Polyvinyl chloride
    Non recommandé
    risque d'explosion et d'incendie
  • Ethylène tétrafluoroéthylène
    Pas de données
  • Polycarbonate
    Pas de données
  • Polyamide
    Non recommandé
    risque d'explosion et d'incendie
  • Polypropylène
    Non recommandé
    risque d'explosion et d'incendie

Elastomères

  • Buthyl (isobutène- isoprène) rubber
    Non recommandé
    risque d'explosion et d'incendie
  • Nitrile rubber NBR
    Non recommandé
    risque d'explosion et d'incendie
  • Chloroprène
    Non recommandé
    risque d'explosion et d'incendie
  • Silicone
    Non recommandé
    risque d'explosion et d'incendie
  • Perfluoroélastomères
    Pas de données
  • Fluoroélastomères
    Satisfaisant
  • Néoprène
    Pas de données
  • Polyuréthane
    Non recommandé
    risque d'explosion et d'incendie
  • Ethylène-Propylène
    Non recommandé
    risque d'explosion et d'incendie

Lubrifiants

  • Huile de lubrification à base d'hydrocarbures
    Non recommandé
    risque d'explosion et d'incendie
  • Huile de lubrification à base de fluorocarbures
    Satisfaisant

Compatibilité avec les matériaux

Air Liquide a rassemblé ces informations sur les compatibilités des molécules avec les matériaux pour vous assister dans l’évaluation des produits à utiliser pour leur mise en œuvre. Ces données ont été obtenues à partir de sources qu’Air Liquide considère comme fiables (Normes internationales: Compatibilité des matériaux des bouteilles et des robinets avec les contenus gazeux;  ISO 11114-1 (March 2012), Part 2 - Non-metallic materials: ISO 11114-2 (April 2013). Toutefois les informations données ici doivent être utilisées avec beaucoup de précaution car elles ne couvrent pas toutes les conditions de concentration, de température, d’humidité, d’impuretés et de présence d’air.  Cette table peut être par exemple utilisée pour présélectionner des matériaux pour des utilisations à haute pression et à température ambiante. Cependant, des études et des tests plus poussés doivent être réalisés dans les conditions précises d’utilisation. Prenez contact avec une équipe Air Liquide dans votre région si vous avez besoin d'une prestation d'expertise.

NF3
Trifluorure d'azote

En savoir plus

Informations générales

En savoir plus

Après une première tentative de synthèse en 1903, Otto Ruff a obtenu le trifluorure d'azote par l'électrolyse d'un mélange en fusion de fluorure d'ammonium et de fluorure d'hydrogène.