Trifluorure d'azote
- NF3
- Numéro CAS 7783-54-2
- UN2451 (gaz)
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Volumes Gaz / Liquide
Calculer le volume ou la masse d'une quantité de gaz ou de liquide
Phase Liquide
Au point d'ébullition à 1,013 bar
Phase Gazeuse
Dans les conditions standard (1,013 bar, 15°C)
Propriétés physiques
Diagramme de phase moléculaire montrant les phases de transition entre le solide, le liquide et le gaz en fonction de la température et de la pression
-
- Masse molaire 71.019 g/mol
- Teneur dans l'air sec /
-
Point critique
- Température -39.15 °C
- Pression 44,607 bar
- Masse volumique 597.91 kg/m³
-
Point triple
- Température -206.69 °C
- Pression 1,854E-6 bar
Pression 1.013 bar
| Chaleur latente de fusion (au point de fusion) | 5,603 kJ/kg |
| Point de fusion | - 206,69 °C |
Pression 1.013 bar
| Point d'ébullition | - 129,01 °C |
| Chaleur latente de vaporisation (au point d'ébullition) | 162,708 kJ/kg |
| Masse volumique du liquide (au point d'ébullition) | 1537,863 kg/m3 |
| Facteur de compressibilité Z | 9,9515E-1 |
| Rapport γ=Cp/Cv | 1,1996 |
| Masse volumique (au point d'ébullition) | 6,239 kg/m3 |
| Masse volumique | 3,184 kg/m3 |
| Equivalent gaz/(liquide au point d'ébullition) | 488,486 vol/vol |
| Chaleur spécifique à pression constante Cp | 7,1941E-1 kJ/(kg.K) |
| Chaleur spécifique à volume constant Cv | 5,9972E-1 kJ/(kg.K) |
| Densité | 2,46 |
| Volume spécifique | 3,141E-1 m3/kg |
| Conductivité thermique | 16,023 mW/(m.K) |
| Viscosité | 1,8123E-4 Po |
| Facteur de compressibilité Z | 9,9594E-1 |
| Rapport γ=Cp/Cv | 1,1921 |
| Masse volumique | 3,0158 kg/m3 |
| Equivalent gaz/(liquide au point d'ébullition) | 515,72 vol/vol |
| Chaleur spécifique à pression constante Cp | 7,4054E-1 kJ/(kg.K) |
| Chaleur spécifique à volume constant Cv | 6,2121E-1 kJ/(kg.K) |
| Densité | 2,46 |
| Volume spécifique | 3,316E-1 m3/kg |
| Conductivité thermique | 17,195 mW/(m.K) |
| Viscosité | 1,902E-4 Po |
| Facteur de compressibilité Z | 9,9639E-1 |
| Rapport γ=Cp/Cv | 1,1876 |
| Masse volumique | 2,9134 kg/m3 |
| Equivalent gaz/(liquide au point d'ébullition) | 533,85 vol/vol |
| Chaleur spécifique à pression constante Cp | 7,5425E-1 kJ/(kg.K) |
| Chaleur spécifique à volume constant Cv | 6,3511E-1 kJ/(kg.K) |
| Densité | 2,46 |
| Volume spécifique | 3,432E-1 m3/kg |
| Conductivité thermique | 17,979 mW/(m.K) |
| Viscosité | 1,961E-4 Po |
Candidatures
Des exemples d'utilisations de la molécule dans l'industrie et la santé
Composants électroniques
Dans la fabrication des cellules photovoltaïques à couches minces de silicium, des semi-conducteurs et des écrans, le trifluorure d'azote est utlisé comme source de fluor pour le nettoyage des réacteurs de dépôt chimique en phase vapeur. Il est également utilisé comme réactif sélectif pour la gravure de l'oxyde de silicium.
Sécurité & Compatibilité
GHS03
Comburant
GHS04
Gaz sous pression
GHS07
Dangereux pour la santé
Seuil de toxicité
| PEL USA OSHA (vol) | 10 ppm |
| VLEP 8h France (à Patm et 293.15 K) | 30 mg/m3 ou 10 ppm |
Odeur
Moisi
Métaux
| Aluminium | Satisfaisant |
| Laiton | Satisfaisant |
| Alliage de Nickel | Pas de données |
| Cuivre | Pas de données |
| Aciers ferritiques | Satisfaisant |
| Aciers inoxydables | Satisfaisant |
| Zinc | Pas de données |
| Titane | Pas de données |
Plastiques
| Polytétrafluoroéthylène | Satisfaisant |
| Polychlorotrifluoroéthylène | Satisfaisant |
| Polyfluorure de vinylidène | Satisfaisant |
| Polychlorure de vinyle |
Réaction violente (oxydation/combustion)
Non recommandé
|
| Ethylène tétrafluoroéthylène | Pas de données |
| Polycarbonate | Pas de données |
| Polyamide |
Réaction violente (oxydation/combustion)
Non recommandé
|
| Polypropylène |
Réaction violente (oxydation/combustion)
Non recommandé
|
Elastomères
| Caoutchouc (isobutène- isoprène) butyl |
Réaction violente (oxydation/combustion)
Non recommandé
|
| Caoutchouc nitrile butadiène |
Réaction violente (oxydation/combustion)
Non recommandé
|
| Chloroprène |
Réaction violente (oxydation/combustion)
Non recommandé
|
| Chlorofluorocarbones | Pas de données |
| Silicone |
Réaction violente (oxydation/combustion)
Non recommandé
|
| Perfluoroélastomères | Satisfaisant |
| Fluoroélastomères | Satisfaisant |
| Néoprène | Pas de données |
| Polyuréthane |
Réaction violente (oxydation/combustion)
Non recommandé
|
| Ethylène-Propylène |
Réaction violente (oxydation/combustion)
Non recommandé
|
Lubrifiants
| Huile de lubrification à base d'hydrocarbures |
Réaction violente (oxydation/combustion)
Non recommandé
|
| Huile de lubrification à base de fluorocarbures | Satisfaisant |
Compatibilité avec les matériaux
Air Liquide a rassemblé ces informations sur les compatibilités des molécules avec les matériaux pour vous assister dans l’évaluation des produits à utiliser pour leur mise en œuvre. Ces données ont été obtenues à partir de sources qu’Air Liquide considère comme fiables (Normes internationales: Compatibilité des matériaux des bouteilles et des robinets avec les contenus gazeux; ISO 11114-1 (March 2012), Part 2 - Non-metallic materials: ISO 11114-2 (April 2013). Toutefois les informations données ici doivent être utilisées avec beaucoup de précaution car elles ne couvrent pas toutes les conditions de concentration, de température, d’humidité, d’impuretés et de présence d’air. Cette table peut être par exemple utilisée pour présélectionner des matériaux pour des utilisations à haute pression et à température ambiante. Cependant, des études et des tests plus poussés doivent être réalisés dans les conditions précises d’utilisation. Prenez contact avec une équipe Air Liquide dans votre région si vous avez besoin d'une prestation d'expertise.
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Après une première tentative de synthèse en 1903, Otto Ruff a obtenu le trifluorure d'azote par l'électrolyse d'un mélange en fusion de fluorure d'ammonium et de fluorure d'hydrogène.