Hexafluorure de soufre
- SF6
- Numéro CAS 2551-62-4
- UN1080 (gaz)
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Volumes Gaz / Liquide
Calculer le volume ou la masse d'une quantité de gaz ou de liquide
Phase Liquide
Au point d'ébullition à 1,013 bar
Phase Gazeuse
Dans les conditions standard (1,013 bar, 15°C)
Propriétés physiques
Diagramme de phase moléculaire montrant les phases de transition entre le solide, le liquide et le gaz en fonction de la température et de la pression
-
- Masse molaire 146.055 g/mol
- Teneur dans l'air sec /
-
Point critique
- Température 45.54 °C
- Pression 37,6 bar
- Masse volumique 735.72 kg/m³
-
Point triple
- Température -49.60 °C
- Pression 2,314 bar
Pression 1.013 bar
Chaleur latente de fusion (au point de fusion) | 34,399 kJ/kg |
Point de fusion | - 50,7 °C |
Pression 1.013 bar
Point d'ébullition | - 68,25 °C |
Facteur de compressibilité Z | 9,8491E-1 |
Rapport γ=Cp/Cv | 1,1074 |
Masse volumique | 6,6161 kg/m3 |
Chaleur spécifique à pression constante Cp | 6,2783E-1 kJ/(kg.K) |
Chaleur spécifique à volume constant Cv | 5,6695E-1 kJ/(kg.K) |
Volume spécifique | 1,512E-1 m3/kg |
Conductivité thermique | 11,627 mW/(m.K) |
Viscosité | 1,3771E-4 Po |
Facteur de compressibilité Z | 9,8733E-1 |
Rapport γ=Cp/Cv | 1,1017 |
Masse volumique | 6,2563 kg/m3 |
Chaleur spécifique à pression constante Cp | 6,5296E-1 kJ/(kg.K) |
Chaleur spécifique à volume constant Cv | 5,9271E-1 kJ/(kg.K) |
Volume spécifique | 1,599E-1 m3/kg |
Conductivité thermique | 12,701 mW/(m.K) |
Viscosité | 1,4589E-4 Po |
Facteur de compressibilité Z | 9,8867E-1 |
Rapport γ=Cp/Cv | 1,0984 |
Masse volumique | 6,0383 kg/m3 |
Chaleur spécifique à pression constante Cp | 6,6899E-1 kJ/(kg.K) |
Chaleur spécifique à volume constant Cv | 6,0908E-1 kJ/(kg.K) |
Volume spécifique | 1,656E-1 m3/kg |
Conductivité thermique | 13,412 mW/(m.K) |
Viscosité | 1,5123E-4 Po |
Candidatures
Des exemples d'utilisations de la molécule dans l'industrie et la santé
Semi-conducteurs
Dans la fabrication des semi-conducteurs et des écrans, l'hexafluorure de soufre est utilisé comme source de fluor pour la gravure par plasma de haute densité, procédé qui ne génère aucun sous-produits carbonés. Il peut également être utilisé pour la gravure des siliciures métalliques, des nitrures et des oxydes déposés sur leurs substrats métalliques. Dans la fabrication des écrans, il sert aussi pour le nettoyage des réacteurs de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
Autre
L'hexafluorure de soufre est un produit isolant, utilisé comme diélectrique dans les transformateurs électriques.
Sécurité & Compatibilité
GHS04
Gaz sous pression
Seuil de toxicité
PEL USA OSHA (vol) | 1000 ppm |
VLEP 8h France (à Patm et 293.15 K) | 6000 mg/m3 ou 1000 ppm |
Odeur
aucune
Métaux
Aluminium | Satisfaisant |
Laiton | Satisfaisant |
Alliage de Nickel | Pas de données |
Cuivre | Pas de données |
Aciers ferritiques | Satisfaisant |
Aciers inoxydables | Satisfaisant |
Zinc | Pas de données |
Titane | Pas de données |
Plastiques
Polytétrafluoroéthylène | Satisfaisant |
Polychlorotrifluoroéthylène | Satisfaisant |
Polyfluorure de vinylidène | Satisfaisant |
Polychlorure de vinyle | Satisfaisant |
Ethylène tétrafluoroéthylène | Pas de données |
Polycarbonate | Pas de données |
Polyamide | Satisfaisant |
Polypropylène | Satisfaisant |
Elastomères
Caoutchouc (isobutène- isoprène) butyl | Satisfaisant |
Caoutchouc nitrile butadiène | Satisfaisant |
Chloroprène | Satisfaisant |
Chlorofluorocarbones | Pas de données |
Silicone | Satisfaisant |
Perfluoroélastomères | Satisfaisant |
Fluoroélastomères | Satisfaisant |
Néoprène | Pas de données |
Polyuréthane | Satisfaisant |
Ethylène-Propylène | Satisfaisant |
Lubrifiants
Huile de lubrification à base d'hydrocarbures | Satisfaisant |
Huile de lubrification à base de fluorocarbures | Satisfaisant |
Compatibilité avec les matériaux
En savoir plus
En savoir plus
L'hexafluorure de soufre peut être obtenu en exposant du soufre à du fluor . Ce procédé a été découvert puis utilisé par Henri Moissan et Paul Lebeau en 1901.