Skip to main content
Retour
Hexafluorure de soufre
Cliquez et faites tourner la molécule 3D
Hexafluorure de soufre
Cliquez et faites tourner la molécule 3D
SF6
Hexafluorure de soufre

Propriétés Physiques

En phase solide (gris), liquide (bleu) et vapeur (blanc) et le long des courbes d'équilibre

  • Propriétés générales
  • Phase solide
  • Phase Liquide
  • Phase Gazeuse
(P)
log(P)
Télécharger
  • Masse molaire
    146,055
    g/mol
  • Teneur dans l'air sec
    /

Point critique

  • Température
    45,54
    °C
    113,972 °F 318,69 K
  • Pression
    37,6
    bar
    3,76E6 pa 545,3417 lbf/in2 37,1083 Atm 3760 Kpa 2,8202E4 mmHg
  • Masse volumique
    735,72
    kg/m³
    45,9294 lb/ft³

Point triple

  • Température
    - 49,6
    °C
    - 57,28 °F 223,55 K
  • Pression
    2,314
    bar
    2,314E5 pa 33,5617 lbf/in2 2,2837 Atm 231,4 Kpa 1735,6475 mmHg
Pression 1,013 bar
  • Point de fusion
    - 50,7
    °C
    - 59,26 °F 222,45 K
  • Chaleur latente de fusion (au point de fusion)
    34,399
    kJ/kg
    14,7988 Btu/lb 8,2216 kcal/kg
  • Masse volumique de la phase solide
    /
Pression 1,013 bar
  • Masse volumique de la phase liquide (au point d'ébullition)
    /
  • Point d'ébullition (point de sublimation)
    - 68,25
    °C
    - 90,85 °F 204,9 K
  • Chaleur latente de vaporisation (au point d'ébullition)
    /
Pression1,013barTempérature
  • Facteur de compressibilité Z
    9,8491E-1
    9,8733E-1
    9,8867E-1
  • Rapport γ=Cp/Cv
    1,1074
    1,1017
    1,0984
  • Viscosité dynamique
    1,3771E-4
    Po
    13,771 µPa.s 1,3771E-5 PA.S 9,2537E-6 lb/ft/s
    1,4589E-4
    Po
    14,589 µPa.s 1,4589E-5 PA.S 9,8034E-6 lb/ft/s
    1,5123E-4
    Po
    15,123 µPa.s 1,5123E-5 PA.S 1,0162E-5 lb/ft/s
  • Densité de la phase gaz au point d'ébullition
    /
    /
    /
  • Densité de la phase gaz
    6,6161
    kg/m³
    4,1303E-1 lb/ft³
    6,2563
    kg/m³
    3,9057E-1 lb/ft³
    6,0383
    kg/m³
    3,7696E-1 lb/ft³
  • Chaleur spécifique à pression constante Cp
    6,2783E-1
    kJ/(kg.K)
    1,5006E-1 BTU/lb∙°F 627,83 J/kg∙K 1,5006E-1 kcal/kg∙K
    6,5296E-1
    kJ/(kg.K)
    1,5606E-1 BTU/lb∙°F 652,96 J/kg∙K 1,5606E-1 kcal/kg∙K
    6,6899E-1
    kJ/(kg.K)
    1,5989E-1 BTU/lb∙°F 668,99 J/kg∙K 1,5989E-1 kcal/kg∙K
  • Chaleur spécifique à volume constant Cv
    5,6695E-1
    kJ/(kg.K)
    1,355E-1 BTU/lb∙°F 566,95 J/kg∙K 1,355E-1 kcal/kg∙K
    5,9271E-1
    kJ/(kg.K)
    1,4166E-1 BTU/lb∙°F 592,71 J/kg∙K 1,4166E-1 kcal/kg∙K
    6,0908E-1
    kJ/(kg.K)
    1,4557E-1 BTU/lb∙°F 609,08 J/kg∙K 1,4557E-1 kcal/kg∙K
  • Equivalent gaz/liquide (au point d'ébullition)
    /
    /
    /
  • Solubilité dans l'eau
    /
    /
    /
  • Densité
    /
    /
    /
  • Volume spécifique
    1,512E-1
    m³/kg
    2,422 ft³/lb
    1,599E-1
    m³/kg
    2,5614 ft³/lb
    1,656E-1
    m³/kg
    2,6527 ft³/lb
  • Conductivité thermique
    11,627
    mW/m∙K
    6,7224E-3 Btu/ft/h/°F 1,0004E-1 cal/hour∙cm∙°C 2,7789E-5 cal/s∙cm∙°C 1,1627E-2 W/(m∙K)
    12,701
    mW/m∙K
    7,3434E-3 Btu/ft/h/°F 1,0928E-1 cal/hour∙cm∙°C 3,0356E-5 cal/s∙cm∙°C 1,2701E-2 W/(m∙K)
    13,412
    mW/m∙K
    7,7545E-3 Btu/ft/h/°F 1,154E-1 cal/hour∙cm∙°C 3,2055E-5 cal/s∙cm∙°C 1,3412E-2 W/(m∙K)
  • Pression de vapeur saturante
    /
    /
    /
SF6
Hexafluorure de soufre

Volumes Gaz / Liquide

Calculez le volume ou la masse d'une quantité de gaz ou de liquide

Phase Liquide

Au point d'ébullition à 1,013 bar

m3(Volume)
kg(Masse)

Phase Gazeuse

à 1,013 bar et au point d'ébullition

m3(Volume)
kg(Masse)
SF6
Hexafluorure de soufre

Applications

Des exemples d'utilisations de la molécule dans l'industrie et la santé

Semi-conducteurs

Dans la fabrication des semi-conducteurs et des écrans, l'hexafluorure de soufre est utilisé comme source de fluor pour la gravure par plasma de haute densité, procédé qui ne génère aucun sous-produits carbonés. Il peut également être utilisé pour la gravure des siliciures métalliques, des nitrures et des oxydes déposés sur leurs substrats métalliques. Dans la fabrication des écrans, il sert aussi pour le nettoyage des réacteurs de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).

Semi-conducteurs

Autre

L'hexafluorure de soufre est un produit isolant, utilisé comme diélectrique dans les transformateurs électriques.

SF6
Hexafluorure de soufre

Sécurité & Compatibilité

Informations nécessaires à l'utilisation de la molécule

  • Risques majeurs
  • Compatibilité matériaux
  • GHS04
    Gaz sous pression

Seuil de toxicité

  • VME
    1000
    ppm
    ou 6000
    mg/m3
  • VLE
    /
  • ILV-8h
    /
  • ILV 15mn
    /
  • TLV-TWA (USA)
    1000
    ppm
    1000 ppm 0,1 vol% 1,E-3 vol/vol
  • TLV-STEL (USA)
    /

Lethal dose

  • DL50 (intravenously in rabbits)
    5790
    ppm

Odeur

aucune

Métaux

  • Aluminium
    Satisfaisant
  • Laiton
    Satisfaisant
  • Alliage de Nickel
    Satisfaisant
  • Cuivre
    Satisfaisant
  • Aciers ferritiques
    Satisfaisant
  • Aciers inoxydables
    Satisfaisant
  • Zinc
    Pas de données
  • Titane
    Pas de données

Plastiques

  • Polytétrafluoroéthylène
    Satisfaisant
  • Polychlorotrifluoroéthylène
    Satisfaisant
  • Polyvinylidène fluoride
    Satisfaisant
  • Polyvinyl chloride
    Satisfaisant
  • Ethylène tétrafluoroéthylène
    Satisfaisant
  • Polycarbonate
    Pas de données
  • Polyamide
    Satisfaisant
  • Polypropylène
    Satisfaisant

Elastomères

  • Buthyl (isobutène- isoprène) rubber
    Satisfaisant
  • Nitrile rubber NBR
    Satisfaisant
  • Chloroprène
    Satisfaisant
  • Silicone
    Satisfaisant
  • Perfluoroélastomères
    Pas de données
  • Fluoroélastomères
    Satisfaisant
  • Néoprène
    Satisfaisant
  • Polyuréthane
    Satisfaisant
  • Ethylène-Propylène
    Satisfaisant

Lubrifiants

  • Huile de lubrification à base d'hydrocarbures
    Satisfaisant
  • Huile de lubrification à base de fluorocarbures
    Satisfaisant

Compatibilité avec les matériaux

Air Liquide a rassemblé ces informations sur les compatibilités des molécules avec les matériaux pour vous assister dans l’évaluation des produits à utiliser pour leur mise en œuvre. Ces données ont été obtenues à partir de sources qu’Air Liquide considère comme fiables (Normes internationales: Compatibilité des matériaux des bouteilles et des robinets avec les contenus gazeux;  ISO 11114-1 (March 2012), Part 2 - Non-metallic materials: ISO 11114-2 (April 2013). Toutefois les informations données ici doivent être utilisées avec beaucoup de précaution car elles ne couvrent pas toutes les conditions de concentration, de température, d’humidité, d’impuretés et de présence d’air.  Cette table peut être par exemple utilisée pour présélectionner des matériaux pour des utilisations à haute pression et à température ambiante. Cependant, des études et des tests plus poussés doivent être réalisés dans les conditions précises d’utilisation. Prenez contact avec une équipe Air Liquide dans votre région si vous avez besoin d'une prestation d'expertise.

SF6
Hexafluorure de soufre

En savoir plus

Informations générales

En savoir plus

L'hexafluorure de soufre peut être obtenu en exposant du soufre à du fluor . Ce procédé a été découvert puis utilisé par Henri Moissan et Paul Lebeau en 1901.