Hexafluorure de soufre

SF₆
Numéro CAS 2551-62-4
UN1080 (gaz)

Molécule
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Volumes Gaz / Liquide

Calculer le volume ou la masse d'une quantité de gaz ou de liquide

Phase Liquide

Au point d'ébullition à 1,013 bar

m³ (Volume)

kg (masse)

Phase Gazeuse

Dans les conditions standard (1,013 bar, 15°C)

m³ (Volume)

kg (masse)

Propriétés physiques

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Propriétés Générales
Phase Solide
Phase Liquide
Phase Gazeuse

Diagramme de phase moléculaire montrant les phases de transition entre le solide, le liquide et le gaz en fonction de la température et de la pression

Pression (bar)

- Masse molaire 146.055 g/mol
- Teneur dans l'air sec /
Point critique
- Température 45.54 °C
- Pression 37,6 bar
- Masse volumique 735.72 kg/m³
Point triple
- Température -49.60 °C
- Pression 2,314 bar

Pression 1.013 bar

Chaleur latente de fusion (au point de fusion)	34,399 kJ/kg
Point de fusion	- 50,7 °C

Pression 1.013 bar

Point d'ébullition

- 68,25 °C

Pression 1.013 bar

0 °C
15 °C
25 °C

Facteur de compressibilité Z	9,8491E-1
Rapport γ=Cp/Cv	1,1074
Masse volumique	6,6161 kg/m³
Chaleur spécifique à pression constante Cp	6,2783E-1 kJ/(kg.K)
Chaleur spécifique à volume constant Cv	5,6695E-1 kJ/(kg.K)
Volume spécifique	1,512E-1 m³/kg
Conductivité thermique	11,627 mW/(m.K)
Viscosité	1,3771E-4 Po

Facteur de compressibilité Z	9,8733E-1
Rapport γ=Cp/Cv	1,1017
Masse volumique	6,2563 kg/m³
Chaleur spécifique à pression constante Cp	6,5296E-1 kJ/(kg.K)
Chaleur spécifique à volume constant Cv	5,9271E-1 kJ/(kg.K)
Volume spécifique	1,599E-1 m³/kg
Conductivité thermique	12,701 mW/(m.K)
Viscosité	1,4589E-4 Po

Facteur de compressibilité Z	9,8867E-1
Rapport γ=Cp/Cv	1,0984
Masse volumique	6,0383 kg/m³
Chaleur spécifique à pression constante Cp	6,6899E-1 kJ/(kg.K)
Chaleur spécifique à volume constant Cv	6,0908E-1 kJ/(kg.K)
Volume spécifique	1,656E-1 m³/kg
Conductivité thermique	13,412 mW/(m.K)
Viscosité	1,5123E-4 Po

Candidatures

Des exemples d'utilisations de la molécule dans l'industrie et la santé

Semi-conducteurs

Dans la fabrication des semi-conducteurs et des écrans, l'hexafluorure de soufre est utilisé comme source de fluor pour la gravure par plasma de haute densité, procédé qui ne génère aucun sous-produits carbonés. Il peut également être utilisé pour la gravure des siliciures métalliques, des nitrures et des oxydes déposés sur leurs substrats métalliques. Dans la fabrication des écrans, il sert aussi pour le nettoyage des réacteurs de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).

Autre

L'hexafluorure de soufre est un produit isolant, utilisé comme diélectrique dans les transformateurs électriques.

Sécurité & Compatibilité

Risques majeurs
Compatibilité

GHS04

Gaz sous pression

Seuil de toxicité

PEL USA OSHA (vol)	1000 ppm
VLEP 8h France (à Patm et 293.15 K)	6000 mg/m³ ou 1000 ppm

Odeur

aucune

Métaux

Aluminium	Satisfaisant
Laiton	Satisfaisant
Alliage de Nickel	Pas de données
Cuivre	Pas de données
Aciers ferritiques	Satisfaisant
Aciers inoxydables	Satisfaisant
Zinc	Pas de données
Titane	Pas de données

Plastiques

Polytétrafluoroéthylène	Satisfaisant
Polychlorotrifluoroéthylène	Satisfaisant
Polyfluorure de vinylidène	Satisfaisant
Polychlorure de vinyle	Satisfaisant
Ethylène tétrafluoroéthylène	Pas de données
Polycarbonate	Pas de données
Polyamide	Satisfaisant
Polypropylène	Satisfaisant

Elastomères

Caoutchouc (isobutène- isoprène) butyl	Satisfaisant
Caoutchouc nitrile butadiène	Satisfaisant
Chloroprène	Satisfaisant
Chlorofluorocarbones	Pas de données
Silicone	Satisfaisant
Perfluoroélastomères	Satisfaisant
Fluoroélastomères	Satisfaisant
Néoprène	Pas de données
Polyuréthane	Satisfaisant
Ethylène-Propylène	Satisfaisant

Lubrifiants

Huile de lubrification à base d'hydrocarbures	Satisfaisant
Huile de lubrification à base de fluorocarbures	Satisfaisant

Compatibilité avec les matériaux

Air Liquide a rassemblé ces informations sur les compatibilités des molécules avec les matériaux pour vous assister dans l’évaluation des produits à utiliser pour leur mise en œuvre. Ces données ont été obtenues à partir de sources qu’Air Liquide considère comme fiables (Normes internationales: Compatibilité des matériaux des bouteilles et des robinets avec les contenus gazeux; ISO 11114-1 (March 2012), Part 2 - Non-metallic materials: ISO 11114-2 (April 2013). Toutefois les informations données ici doivent être utilisées avec beaucoup de précaution car elles ne couvrent pas toutes les conditions de concentration, de température, d’humidité, d’impuretés et de présence d’air. Cette table peut être par exemple utilisée pour présélectionner des matériaux pour des utilisations à haute pression et à température ambiante. Cependant, des études et des tests plus poussés doivent être réalisés dans les conditions précises d’utilisation. Prenez contact avec une équipe Air Liquide dans votre région si vous avez besoin d'une prestation d'expertise.

En savoir plus

L'hexafluorure de soufre peut être obtenu en exposant du soufre à du fluor . Ce procédé a été découvert puis utilisé par Henri Moissan et Paul Lebeau en 1901.