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      Hexafluorure de soufre
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      SF6
      Hexafluorure de soufre

      Propriétés Physiques

      En phase solide (gris), liquide (bleu) et vapeur (blanc) et le long des courbes d'équilibre

      • Propriétés générales
      • Phase solide
      • Phase Liquide
      • Phase Gazeuse
      (P)
      log(P)
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      • Masse molaire
        146,055
        g/mol
      • Teneur dans l'air sec
        /

      Point critique

      • Température
        45,54
        °C
         113,972 °F 318,69 K
      • Pression
        37,6
        bar
         3,76E6 pa 545,3417 lbf/in2 37,1083 Atm 3760 Kpa 2,8202E4 mmHg
      • Masse volumique
        735,72
        kg/m³
         45,9294 lb/ft³

      Point triple

      • Température
        - 49,6
        °C
         - 57,28 °F 223,55 K
      • Pression
        2,314
        bar
         2,314E5 pa 33,5617 lbf/in2 2,2837 Atm 231,4 Kpa 1735,6475 mmHg
      Pression 1,013 bar
      • Point de fusion
        - 50,7
        °C
         - 59,26 °F 222,45 K
      • Chaleur latente de fusion (au point de fusion)
        34,399
        kJ/kg
         14,7988 Btu/lb 8,2216 kcal/kg
      • Masse volumique de la phase solide
        /
      Pression 1,013 bar
      • Masse volumique de la phase liquide (au point d'ébullition)
        /
      • Point d'ébullition (point de sublimation)
        - 68,25
        °C
         - 90,85 °F 204,9 K
      • Chaleur latente de vaporisation (au point d'ébullition)
        /
      Pression1,013barTempérature
      • Facteur de compressibilité Z
        9,8491E-1
        9,8733E-1
        9,8867E-1
      • Rapport γ=Cp/Cv
        1,1074
        1,1017
        1,0984
      • Viscosité dynamique
        1,3771E-4
        Po
         13,771 µPa.s 1,3771E-5 PA.S 9,2537E-6 lb/ft/s
        1,4589E-4
        Po
         14,589 µPa.s 1,4589E-5 PA.S 9,8034E-6 lb/ft/s
        1,5123E-4
        Po
         15,123 µPa.s 1,5123E-5 PA.S 1,0162E-5 lb/ft/s
      • Densité de la phase gaz au point d'ébullition
        /
        /
        /
      • Densité de la phase gaz
        6,6161
        kg/m³
         4,1303E-1 lb/ft³
        6,2563
        kg/m³
         3,9057E-1 lb/ft³
        6,0383
        kg/m³
         3,7696E-1 lb/ft³
      • Chaleur spécifique à pression constante Cp
        6,2783E-1
        kJ/(kg.K)
         1,5006E-1 BTU/lb∙°F 627,83 J/kg∙K 1,5006E-1 kcal/kg∙K
        6,5296E-1
        kJ/(kg.K)
         1,5606E-1 BTU/lb∙°F 652,96 J/kg∙K 1,5606E-1 kcal/kg∙K
        6,6899E-1
        kJ/(kg.K)
         1,5989E-1 BTU/lb∙°F 668,99 J/kg∙K 1,5989E-1 kcal/kg∙K
      • Chaleur spécifique à volume constant Cv
        5,6695E-1
        kJ/(kg.K)
         1,355E-1 BTU/lb∙°F 566,95 J/kg∙K 1,355E-1 kcal/kg∙K
        5,9271E-1
        kJ/(kg.K)
         1,4166E-1 BTU/lb∙°F 592,71 J/kg∙K 1,4166E-1 kcal/kg∙K
        6,0908E-1
        kJ/(kg.K)
         1,4557E-1 BTU/lb∙°F 609,08 J/kg∙K 1,4557E-1 kcal/kg∙K
      • Equivalent gaz/liquide (au point d'ébullition)
        /
        /
        /
      • Solubilité dans l'eau
        /
        /
        /
      • Densité
        /
        /
        /
      • Volume spécifique
        1,512E-1
        m³/kg
         2,422 ft³/lb
        1,599E-1
        m³/kg
         2,5614 ft³/lb
        1,656E-1
        m³/kg
         2,6527 ft³/lb
      • Conductivité thermique
        11,627
        mW/m∙K
         6,7224E-3 Btu/ft/h/°F 1,0004E-1 cal/hour∙cm∙°C 2,7789E-5 cal/s∙cm∙°C 1,1627E-2 W/(m∙K)
        12,701
        mW/m∙K
         7,3434E-3 Btu/ft/h/°F 1,0928E-1 cal/hour∙cm∙°C 3,0356E-5 cal/s∙cm∙°C 1,2701E-2 W/(m∙K)
        13,412
        mW/m∙K
         7,7545E-3 Btu/ft/h/°F 1,154E-1 cal/hour∙cm∙°C 3,2055E-5 cal/s∙cm∙°C 1,3412E-2 W/(m∙K)
      • Pression de vapeur saturante
        /
        /
        /
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      SF6
      Hexafluorure de soufre

      Volumes Gaz / Liquide

      Calculez le volume ou la masse d'une quantité de gaz ou de liquide

      Phase Liquide

      Au point d'ébullition à 1,013 bar

      m3(Volume)
      kg(Masse)

      Phase Gazeuse

      dans les conditions standards (1,013 bar, 15°C)

      m3(Volume)
      kg(Masse)
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      SF6
      Hexafluorure de soufre

      Applications

      Des exemples d'utilisations de la molécule dans l'industrie et la santé

      Semi-conducteurs

      Dans la fabrication des semi-conducteurs et des écrans, l'hexafluorure de soufre est utilisé comme source de fluor pour la gravure par plasma de haute densité, procédé qui ne génère aucun sous-produits carbonés. Il peut également être utilisé pour la gravure des siliciures métalliques, des nitrures et des oxydes déposés sur leurs substrats métalliques. Dans la fabrication des écrans, il sert aussi pour le nettoyage des réacteurs de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).

      Semi-conducteurs

      Autre

      L'hexafluorure de soufre est un produit isolant, utilisé comme diélectrique dans les transformateurs électriques.

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      SF6
      Hexafluorure de soufre

      Sécurité & Compatibilité

      Informations nécessaires à l'utilisation de la molécule

      • Risques majeurs
      • Compatibilité matériaux
      Sécurité
      • GHS04
        Gaz sous pression

      Seuil de toxicité

      • VME
        1000
        ppm
         ou 6000
        mg/m3
      • VLE
        /
      • ILV-8h
        /
      • ILV 15mn
        /
      • TLV-TWA (USA)
        1000
        ppm
         1000 ppm 0,1 vol% 1,E-3 vol/vol
      • TLV-STEL (USA)
        /

      Lethal dose

      • DL50 (intravenously in rabbits)
        5790
        ppm

      Odeur

      aucune

      Métaux

      • Aluminium
        Satisfaisant
      • Laiton
        Satisfaisant
      • Alliage de Nickel
        Satisfaisant
      • Cuivre
        Satisfaisant
      • Aciers ferritiques
        Satisfaisant
      • Aciers inoxydables
        Satisfaisant
      • Zinc
        Pas de données
      • Titane
        Pas de données

      Plastiques

      • Polytétrafluoroéthylène
        Satisfaisant
      • Polychlorotrifluoroéthylène
        Satisfaisant
      • Polyvinylidène fluoride
        Satisfaisant
      • Polyvinyl chloride
        Satisfaisant
      • Ethylène tétrafluoroéthylène
        Satisfaisant
      • Polycarbonate
        Pas de données
      • Polyamide
        Satisfaisant
      • Polypropylène
        Satisfaisant

      Elastomères

      • Buthyl (isobutène- isoprène) rubber
        Satisfaisant
      • Nitrile rubber NBR
        Satisfaisant
      • Chloroprène
        Satisfaisant
      • Silicone
        Satisfaisant
      • Perfluoroélastomères
        Pas de données
      • Fluoroélastomères
        Satisfaisant
      • Néoprène
        Satisfaisant
      • Polyuréthane
        Satisfaisant
      • Ethylène-Propylène
        Satisfaisant

      Lubrifiants

      • Huile de lubrification à base d'hydrocarbures
        Satisfaisant
      • Huile de lubrification à base de fluorocarbures
        Satisfaisant

      Compatibilité avec les matériaux

      Air Liquide a rassemblé ces informations sur les compatibilités des molécules avec les matériaux pour vous assister dans l’évaluation des produits à utiliser pour leur mise en œuvre. Ces données ont été obtenues à partir de sources qu’Air Liquide considère comme fiables (Normes internationales: Compatibilité des matériaux des bouteilles et des robinets avec les contenus gazeux;  ISO 11114-1 (March 2012), Part 2 - Non-metallic materials: ISO 11114-2 (April 2013). Toutefois les informations données ici doivent être utilisées avec beaucoup de précaution car elles ne couvrent pas toutes les conditions de concentration, de température, d’humidité, d’impuretés et de présence d’air.  Cette table peut être par exemple utilisée pour présélectionner des matériaux pour des utilisations à haute pression et à température ambiante. Cependant, des études et des tests plus poussés doivent être réalisés dans les conditions précises d’utilisation. Prenez contact avec une équipe Air Liquide dans votre région si vous avez besoin d'une prestation d'expertise.

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      SF6
      Hexafluorure de soufre

      En savoir plus

      Informations générales

      En savoir plus

      L'hexafluorure de soufre peut être obtenu en exposant du soufre à du fluor . Ce procédé a été découvert puis utilisé par Henri Moissan et Paul Lebeau en 1901.