En phase solide (gris), liquide (bleu) et vapeur (blanc) et le long des courbes d'équilibre
Point critique
Point triple
Calculez le volume ou la masse d'une quantité de gaz ou de liquide
Au point d'ébullition à 1,013 bar
dans les conditions standards (1,013 bar, 15°C)
Des exemples d'utilisations de la molécule dans l'industrie et la santé
Dans la fabrication des semi-conducteurs et des écrans, l'hexafluorure de soufre est utilisé comme source de fluor pour la gravure par plasma de haute densité, procédé qui ne génère aucun sous-produits carbonés. Il peut également être utilisé pour la gravure des siliciures métalliques, des nitrures et des oxydes déposés sur leurs substrats métalliques. Dans la fabrication des écrans, il sert aussi pour le nettoyage des réacteurs de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
Semi-conducteursL'hexafluorure de soufre est un produit isolant, utilisé comme diélectrique dans les transformateurs électriques.
Informations nécessaires à l'utilisation de la molécule
aucune
Air Liquide a rassemblé ces informations sur les compatibilités des molécules avec les matériaux pour vous assister dans l’évaluation des produits à utiliser pour leur mise en œuvre. Ces données ont été obtenues à partir de sources qu’Air Liquide considère comme fiables (Normes internationales: Compatibilité des matériaux des bouteilles et des robinets avec les contenus gazeux; ISO 11114-1 (March 2012), Part 2 - Non-metallic materials: ISO 11114-2 (April 2013). Toutefois les informations données ici doivent être utilisées avec beaucoup de précaution car elles ne couvrent pas toutes les conditions de concentration, de température, d’humidité, d’impuretés et de présence d’air. Cette table peut être par exemple utilisée pour présélectionner des matériaux pour des utilisations à haute pression et à température ambiante. Cependant, des études et des tests plus poussés doivent être réalisés dans les conditions précises d’utilisation. Prenez contact avec une équipe Air Liquide dans votre région si vous avez besoin d'une prestation d'expertise.
Informations générales
L'hexafluorure de soufre peut être obtenu en exposant du soufre à du fluor . Ce procédé a été découvert puis utilisé par Henri Moissan et Paul Lebeau en 1901.