Hexafluorure de soufre
- SF6
- Numéro CAS 2551-62-4
- UN1080 (gaz)
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Volumes Gaz / Liquide
Calculer le volume ou la masse d'une quantité de gaz ou de liquide
Phase Liquide
Au point d'ébullition à 1,013 bar
Phase Gazeuse
Dans les conditions standard (1,013 bar, 15°C)
Propriétés physiques
Diagramme de phase moléculaire montrant les phases de transition entre le solide, le liquide et le gaz en fonction de la température et de la pression
-
- Masse molaire 146.055 g/mol
- Teneur dans l'air sec /
-
Point critique
- Température 45.54 °C
- Pression 37,6 bar
- Masse volumique 735.72 kg/m³
-
Point triple
- Température -49.60 °C
- Pression 2,314 bar
Pression 1.013 bar
| Chaleur latente de fusion (au point de fusion) | 34,399 kJ/kg |
| Point de fusion | - 50,7 °C |
Pression 1.013 bar
| Point d'ébullition | - 68,25 °C |
| Facteur de compressibilité Z | 9,8491E-1 |
| Rapport γ=Cp/Cv | 1,1074 |
| Masse volumique | 6,6161 kg/m3 |
| Chaleur spécifique à pression constante Cp | 6,2783E-1 kJ/(kg.K) |
| Chaleur spécifique à volume constant Cv | 5,6695E-1 kJ/(kg.K) |
| Volume spécifique | 1,512E-1 m3/kg |
| Conductivité thermique | 11,627 mW/(m.K) |
| Viscosité | 1,3771E-4 Po |
| Facteur de compressibilité Z | 9,8733E-1 |
| Rapport γ=Cp/Cv | 1,1017 |
| Masse volumique | 6,2563 kg/m3 |
| Chaleur spécifique à pression constante Cp | 6,5296E-1 kJ/(kg.K) |
| Chaleur spécifique à volume constant Cv | 5,9271E-1 kJ/(kg.K) |
| Volume spécifique | 1,599E-1 m3/kg |
| Conductivité thermique | 12,701 mW/(m.K) |
| Viscosité | 1,4589E-4 Po |
| Facteur de compressibilité Z | 9,8867E-1 |
| Rapport γ=Cp/Cv | 1,0984 |
| Masse volumique | 6,0383 kg/m3 |
| Chaleur spécifique à pression constante Cp | 6,6899E-1 kJ/(kg.K) |
| Chaleur spécifique à volume constant Cv | 6,0908E-1 kJ/(kg.K) |
| Volume spécifique | 1,656E-1 m3/kg |
| Conductivité thermique | 13,412 mW/(m.K) |
| Viscosité | 1,5123E-4 Po |
Applications
Des exemples d'utilisations de la molécule dans l'industrie et la santé
Semi-conducteurs
Dans la fabrication des semi-conducteurs et des écrans, l'hexafluorure de soufre est utilisé comme source de fluor pour la gravure par plasma de haute densité, procédé qui ne génère aucun sous-produits carbonés. Il peut également être utilisé pour la gravure des siliciures métalliques, des nitrures et des oxydes déposés sur leurs substrats métalliques. Dans la fabrication des écrans, il sert aussi pour le nettoyage des réacteurs de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
Autre
L'hexafluorure de soufre est un produit isolant, utilisé comme diélectrique dans les transformateurs électriques.
Sécurité & Compatibilité
GHS04
Gaz sous pression
Seuil de toxicité
| PEL USA OSHA (vol) | 1000 ppm |
| VLEP 8h France (à Patm et 293.15 K) | 6000 mg/m3 ou 1000 ppm |
Odeur
aucune
Métaux
| Aluminium | Satisfaisant |
| Laiton | Satisfaisant |
| Alliage de Nickel | Pas de données |
| Cuivre | Pas de données |
| Aciers ferritiques | Satisfaisant |
| Aciers inoxydables | Satisfaisant |
| Zinc | Pas de données |
| Titane | Pas de données |
Plastiques
| Polytétrafluoroéthylène | Satisfaisant |
| Polychlorotrifluoroéthylène | Satisfaisant |
| Polyfluorure de vinylidène | Satisfaisant |
| Polychlorure de vinyle | Satisfaisant |
| Ethylène tétrafluoroéthylène | Pas de données |
| Polycarbonate | Pas de données |
| Polyamide | Satisfaisant |
| Polypropylène | Satisfaisant |
Elastomères
| Caoutchouc (isobutène- isoprène) butyl | Satisfaisant |
| Caoutchouc nitrile butadiène | Satisfaisant |
| Chloroprène | Satisfaisant |
| Chlorofluorocarbones | Pas de données |
| Silicone | Satisfaisant |
| Perfluoroélastomères | Satisfaisant |
| Fluoroélastomères | Satisfaisant |
| Néoprène | Pas de données |
| Polyuréthane | Satisfaisant |
| Ethylène-Propylène | Satisfaisant |
Lubrifiants
| Huile de lubrification à base d'hydrocarbures | Satisfaisant |
| Huile de lubrification à base de fluorocarbures | Satisfaisant |
Compatibilité avec les matériaux
Air Liquide a rassemblé ces informations sur les compatibilités des molécules avec les matériaux pour vous assister dans l’évaluation des produits à utiliser pour leur mise en œuvre. Ces données ont été obtenues à partir de sources qu’Air Liquide considère comme fiables (Normes internationales: Compatibilité des matériaux des bouteilles et des robinets avec les contenus gazeux; ISO 11114-1 (March 2012), Part 2 - Non-metallic materials: ISO 11114-2 (April 2013). Toutefois les informations données ici doivent être utilisées avec beaucoup de précaution car elles ne couvrent pas toutes les conditions de concentration, de température, d’humidité, d’impuretés et de présence d’air. Cette table peut être par exemple utilisée pour présélectionner des matériaux pour des utilisations à haute pression et à température ambiante. Cependant, des études et des tests plus poussés doivent être réalisés dans les conditions précises d’utilisation. Prenez contact avec une équipe Air Liquide dans votre région si vous avez besoin d'une prestation d'expertise.
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L'hexafluorure de soufre peut être obtenu en exposant du soufre à du fluor . Ce procédé a été découvert puis utilisé par Henri Moissan et Paul Lebeau en 1901.